%0 Journal Article
%T Theoretical analysis and experimental study of the space-charge-screening effect in uni-traveling-carrier photodiode<br>单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究
%A Guo Jian-Chuan
%A Zuo Yu-Hu
%A Zhang Yun
%A Zhang Ling-Zi
%A Cheng Bu-Wen
%A Wang Qi-Ming
%A <br>郭剑川
%A 左玉华
%A 张云
%A 张岭梓
%A 成步文
%A 王启明
%J 物理学报
%D 2010
%I 
%X 本文优化设计和外延生长了一种单行载流子(UTC)光电探测器有源区结构,并且采用微电子工艺制备了台面尺寸为30 μm的UTC光电探测器.同时,采用了漂移-扩散模型对该有源区结构进行了理论模拟,从载流子浓度和空间电场角度重点分析研究了空间电荷屏蔽效应对UTC光电探测器直流饱和特性影响的物理机理.UTC光电探测器理论模拟结果与实测数据基本相符.
%K uni-traveling-carrier
%K photodiode
%K space charge screening effect<br>单行载流子
%K 光电探测器
%K 空间电荷屏蔽效应
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=126EC74C8DF37182BE34F8886742C262&yid=140ECF96957D60B2&vid=6AC2A205FBB0EF23&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=5F59693B4D1064D1&eid=06EB5418215A27DE&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=16