%0 Journal Article
%T 溶胶-凝胶法制备Li-N双掺p型ZnO薄膜的结构、光学和电学性能
%A 王德义
%A 高书霞
%A 李刚
%A 赵鸣
%J 物理学报
%D 2010
%I 
%X 采用溶胶-凝胶法在n型Si(100)衬底上沉积Li-N双掺杂ZnO薄膜，经X射线衍射和扫描电镜图片分析，所制备薄膜具有多晶纤锌矿结构和高的c轴择优取向.室温下霍尔效应测试结果显示Li-N双掺杂ZnO薄膜具有p型导电特性.在Li掺杂量为15.0at%，Li/N（摩尔比）为1∶1，700℃退火等优化条件下得到的最佳电学性能结果是：电阻率为0.34 Ω·cm，霍尔迁移率为16.43 cm2/V·s，载流子浓度为2.79×1019 cm-3
%K Li-N双掺，
%K p型ZnO薄膜，
%K 溶胶-凝胶，
%K 性能
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=D12E62B942031D520FF13DABD3EA254B&yid=140ECF96957D60B2&vid=6AC2A205FBB0EF23&iid=94C357A881DFC066&sid=2C56B98B0E5FE315&eid=4851DEF42086AEBF&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=20