%0 Journal Article %T 溶胶-凝胶法制备Li-N双掺p型ZnO薄膜的结构、光学和电学性能 %A 王德义 %A 高书霞 %A 李刚 %A 赵鸣 %J 物理学报 %D 2010 %I %X 采用溶胶-凝胶法在n型Si(100)衬底上沉积Li-N双掺杂ZnO薄膜,经X射线衍射和扫描电镜图片分析,所制备薄膜具有多晶纤锌矿结构和高的c轴择优取向.室温下霍尔效应测试结果显示Li-N双掺杂ZnO薄膜具有p型导电特性.在Li掺杂量为15.0at%,Li/N(摩尔比)为1∶1,700℃退火等优化条件下得到的最佳电学性能结果是:电阻率为0.34 Ω·cm,霍尔迁移率为16.43 cm2/V·s,载流子浓度为2.79×1019 cm-3 %K Li-N双掺, %K p型ZnO薄膜, %K 溶胶-凝胶, %K 性能 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=D12E62B942031D520FF13DABD3EA254B&yid=140ECF96957D60B2&vid=6AC2A205FBB0EF23&iid=94C357A881DFC066&sid=2C56B98B0E5FE315&eid=4851DEF42086AEBF&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=20