%0 Journal Article
%T Numerical simulation study on characteristic parameters of microcavity discharge in argon<br>氩气微腔放电中特性参数的数值模拟研究
%A Xia Guang-Qing
%A Xue Wei-Hu
%A Chen Mao-Lin
%A Zhu Yu
%A Zhu Guo-Qiang
%A <br>夏广庆
%A 薛伟华
%A 陈茂林
%A 朱雨
%A 朱国强
%J 物理学报
%D 2011
%I 
%X 本文采用二维自洽完全流体模型,针对阳极为通孔的高气压微腔放电结构,研究了微腔放电的参数特性.数值计算得到了氩气压强为100 Torr,放电稳态时的电势分布、电子数密度分布和电子温度分布等重要参数.模拟结果表明放电区存在显著的阴极鞘层结构,电子数密度的峰值达到1020 m-3,电子温度的量级为几个eV至十几eV,该结论与实验结果相一致.数值模拟合理的解释了微腔放电的基本原理.
%K microcavity discharge(MCD)
%K plasma simulation
%K fluid model<br>微腔放电
%K 等离子体模拟
%K 流体模型
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=315B4F6B4BA54D35C4DAF61EF5414123&yid=9377ED8094509821&vid=BFE7933E5EEA150D&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=3D6000A300EF3AAB&eid=3D6000A300EF3AAB&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=17