%0 Journal Article
%T Directional diffusion of atoms in metal strips/bump interconnects of flip chip<br>倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散
%A Lu Yu-Dong
%A He Xiao-Qi
%A En Yun-Fei
%A Wang Xin
%A Zhuang Zhi-Qiang
%A <br>陆裕东
%A 何小琦
%A 恩云飞
%A 王歆
%A 庄志强
%J 物理学报
%D 2010
%I 
%X 采用倒装芯片互连凸点串联回路研究了高温、高电流密度条件下倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散现象，分析了互连结构中受电应力和化学势梯度作用的各相金属原子的扩散行为.在电迁移主导作用下，Ni(V)镀层中的Ni原子的快速扩散导致原本较为稳定的Ni(V)扩散阻挡层发生快速的界面反应，造成Al互连金属与焊料的直接接触.Al原子在电子风力作用下沿电子流方向向下迁移造成窗口附近焊料中Al原子含量逐步上升，同时，空位的反向迁移、聚集形成过饱和，导致Al互连中形成大面积空洞.焊料中的Sn，Pb原子在化学势梯度
%K 倒装芯片，
%K 凸点，
%K 电迁移，
%K 扩散
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=EFCB23E852E9FFC16A0C794D8DF834D5&yid=140ECF96957D60B2&vid=6AC2A205FBB0EF23&iid=94C357A881DFC066&sid=1F5089A1AD157334&eid=46D3D8C9D4F74184&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=15