%0 Journal Article
%T Surface acoustic wave properties of ZnO films grown by magnetron sputtering<br>磁控溅射制备ZnO薄膜及其声表面波特性
%A Yang Guang
%A Paulo V Santos
%A <br>杨 光
%A Santos Paulo V.
%J 物理学报
%D 2007
%I 
%X 通过射频磁控溅射技术在GaAs,Au/GaAs,Si和玻璃基片上成功制备了ZnO多晶薄膜,利用X射线衍射对ZnO薄膜的取向、结晶性进行了表征,结果表明ZnO薄膜呈完全c轴取向,Au缓冲层可以有效地改善ZnO薄膜的晶体质量,X射线摇摆曲线结果表明ZnO(002)衍射峰的半高宽仅为2.41°,同时发现Au缓冲层的结晶质量对ZnO薄膜的c轴取向度有很大影响,通过扫描电子显微镜对ZnO/GaAs和ZnO/Au/GaAs薄膜的表面形貌进行了观测,利用网络分析仪对IDT/ZnO/GaAs薄膜的声表面波特性进行了测量.
%K ZnO films
%K x-ray diffraction
%K surface acoustic waves<br>ZnO薄膜
%K X射线衍射
%K 声表面波
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=2EA96803E81C9BDD&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=014B591DF029732F&iid=B31275AF3241DB2D&sid=E0B17D28B6991BBF&eid=3DE76C229AACB79B&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=23