%0 Journal Article
%T The dynamic reliability of ultra-thin gate oxide and its breakdown characteristics<br>动态应力下超薄栅氧化层经时击穿的可靠性评价
%A Luan Su-Zhen
%A Liu Hong-Xia
%A Jia Ren-Xu
%A <br>栾苏珍
%A 刘红侠
%A 贾仁需
%J 物理学报
%D 2008
%I 
%X 实验发现动态电压应力条件下,由于栅氧化层很薄,高电平应力时间内隧穿入氧化层的电子与陷落在氧化层中的空穴复合产生中性电子陷阱,中性电子陷阱辅助电子隧穿.由于每个周期的高电平时间较短(远远低于电荷的复合时间),隧穿到氧化层的电子很少,同时低电平应力时间内一部分电荷退陷,形成的中性电子陷阱更少.随着应力时间的累积,中性电子陷阱达到某个临界值,栅氧化层突然击穿.高电平时形成的陷阱较少和低电平时一部分电荷退陷,使得器件的寿命提高.
%K ultra-thin gate oxide
%K ramp voltage
%K time dependent dielectric breakdown<br>超薄栅氧化层
%K 斜坡电压
%K 经时击穿
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=67A66A2866565867E2BF6B296898FDBE&yid=67289AFF6305E306&vid=11B4E5CC8CDD3201&iid=E158A972A605785F&sid=16A32B3F11A2E663&eid=EB9FE82C3375C273&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=8