%0 Journal Article
%T The study of ultraviolet properties of resistant-boat evaporated LaF3 films<br>热舟蒸发LaF3薄膜的紫外性能研究
%A Shang Shu-Zhen
%A Shao Jian-D
%A Fan Zheng-Xiu
%A Zhao Zhu-Xin
%A <br>尚淑珍
%A 邵建达
%A 范正修
%A 赵祖欣
%J 物理学报
%D 2008
%I 
%X 研究了沉积温度对热舟蒸发氟化镧薄膜结构和光学性能的影响，沉积温度从200℃上升到350℃，间隔为50℃.采用分光光度计测量了样品的透射率和反射率光谱曲线，并在此基础上进行了光学损耗、光学常数以及带隙和截止波长的计算.采用表面轮廓仪进行了表面形貌和表面粗糙度的标定，采用X射线衍射(XRD)方法测量了不同沉积温度下样品的微结构.发现在短波长波段，随着沉积温度的升高，光学损耗增加，晶粒尺寸增大，表面粗糙度略有增加.不过散射损耗在光学损耗中所占比例均很小，光学损耗的增加主要由吸收损耗引起.随着沉积温度的升高，折射
%K optical film
%K depositing temperature
%K LaF3
%K optical loss<br>光学薄膜，
%K 沉积温度，
%K LaF3，
%K 光学损耗
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=11461D2DABABC0F333F451D55B133B87&yid=67289AFF6305E306&vid=11B4E5CC8CDD3201&iid=38B194292C032A66&sid=C2F690FF72A10B30&eid=8C40A730A9894EF1&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=14