%0 Journal Article
%T Study on FN-DLC thin films:(Ⅳ)effect of nitrogen doping on structural properties of films<br>含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究：(Ⅳ)氮掺杂对薄膜结构的影响
%A Xiao Jian-Rong
%A Xu Hui
%A Wang Huan-You
%A Deng Chao-Sheng
%A Li Ming-Jun
%A <br>肖剑荣
%A 徐 慧
%A 王焕友
%A 邓超生
%A 李明君
%J 物理学报
%D 2007
%I 
%X 不同条件下，在单晶硅基片上沉积了含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜.原子力显微(AFM)形貌显示，掺N后，薄膜变得致密均匀.傅里叶变换吸收红外光谱(FTIR)表明，随着r(r=N2/［N2+CF4+CH4］)的增大薄膜中C—H键的逐渐减少，C〖FY=,1〗N和C≡N键含量逐渐增加.X射线光电子能谱(XPS)的C1s和N1s峰拟合结果发现，N掺入导致在薄膜中出现β-C3N4和a-CNx(x=1,2,3)成分.Roman散射谱的G峰向高频方向位移和峰值展宽等证明：随着r的增大，薄膜内sp2键态含量增加.
%K fluorinated diamond-like carbon films
%K bond structure
%K nitrogen doping<br>氟化类金刚石膜
%K 键结构
%K 氮掺杂
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=AFD7D4B3FE6B7D42&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=014B591DF029732F&iid=94C357A881DFC066&sid=F6D235E87B65403D&eid=36E66EEE6C9C1300&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=24