%0 Journal Article
%T The design, fabrication and performance of a large area 10000 line/mm metal transmission diffraction gratings for soft X-ray<br>大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测
%A Zhu Wei-Zhong
%A Wu Yan-Qing
%A Guo Zhi
%A Zhu Xiao-Li
%A Ma Jie
%A Xie Chang-Qing
%A Shi Pei-Xiong
%A Zhou Hong-Jun
%A Huo Tong-Lin
%A Tai Ren-Zhong
%A Xu Hong-Jie
%A <br>朱伟忠
%A 吴衍青
%A 郭 智
%A 朱效立
%A 马 杰
%A 谢常青
%A 史沛熊
%A 周洪军
%A 霍同林
%A 邰仁忠
%A 徐洪杰
%J 物理学报
%D 2008
%I 
%X 基于严格的矢量耦合波理论,优化设计了用于13.4 nm软X射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版.采用电子柬光刻技术,在国内首次成功制作了周期为100 nm的大面积金属型透射光栅.光栅面积为1.5 mm×1.5 mm,Cr浮雕厚度为50 nm,Gap/period为0.6,衬底Si,N4厚度为100 nm.此光栅将用于上海光源软X射线干涉光刻实验站.利用其1级衍射光和2级衍射光将可以经济高效地制作周期为50和25 nm的大面积周期结构.最后,测量了该光栅对波长为13.4 nm同步辐射光的衍射光强度,并且推算得出该光栅的1级和2级衍射效率分别为4.41%和0.49%,与理论设计值比较符合.实验结果与理论模拟结果的对比表明该光栅侧壁陡直,Gap/period的控制也与设计值符合.
%K soft X-ray metal transmission grating
%K rigorous coupled-wave analysis
%K diffraction efficiency
%K soft X-ray interference lithography<br>软X射线金属型透射光栅
%K 严格耦合波方法
%K 衍射效率
%K 软X射线干涉光刻
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=1209F05153E9121F90392FC5C2B3E759&yid=67289AFF6305E306&vid=11B4E5CC8CDD3201&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=EF8C9A587ECFC0AF&eid=AB52DF717567BB49&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0