%0 Journal Article
%T Diagnostic study on the electron density distribution of microwave plasma jet in vacuum environment<br>真空中微波等离子体喷流电子数密度分布规律实验研究
%A Yang Juan
%A Liu Wen-Yi
%A Zhu Guo-Qiang
%A Mao Gen-Wang
%A <br>杨涓
%A 刘文一
%A 朱国强
%A 毛根旺
%J 物理学报
%D 2007
%I 
%X 为了准确诊断真空中微波等离子体喷流的电子数密度，利用统一的发射和单郎缪尔探针测量等离子体的空间电位，再测量等离子体的电流-电压特性曲线.根据空间电位测量结果，在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流，从而处理出电子数密度.最后的诊断实验表明，当真空环境压强为2—6 Pa、等离子体发生器以60 W以下的微波功率击穿流量范围是42—106 mg/s的氩气时，所产生的微波等离子体喷流中电子数密度分布在1×1016—7.2×1016/m3范围内.
%K plasma diagnostic techniques
%K elementary processes in plasma
%K basic properties of plasma<br>等离子体诊断技术
%K 等离子体基本过程
%K 等离子体基本特性
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=0FEE906EADE7F617&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=014B591DF029732F&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=2E41258BCB9A7DB2&eid=0918129209B14F3E&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=9