%0 Journal Article
%T Influences of growth temperature on the crystalline characteristics and optical properties for ZnO films deposited by reactive magnetron sputtering<br>生长温度对磁控溅射ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响
%A Sun Cheng-Wei
%A Liu Zhi-Wen
%A Qin Fu-Wen
%A Zhang Qing-Yu
%A Liu Kun
%A Wu Shi-Fa
%A <br>孙成伟
%A 刘志文
%A 秦福文
%A 张庆瑜
%A 刘琨
%A 吴世法
%J 物理学报
%D 2006
%I 
%X 采用反应射频磁控溅射方法，在Si (100) 基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用 原子力显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射分析、拉曼光谱等表征技术，研究了沉积温度 对ZnO薄膜的表面形貌、晶粒尺度、应力状态等结晶性能的影响；通过沉积温度对透射光谱 和光致荧光光谱的影响，探讨了ZnO薄膜的结晶特性与光学性能之间的关系.研究结果显示， 在室温至500℃的范围内，ZnO薄膜的晶粒尺寸随沉积温度的增加而增加，在沉积温度为500 ℃时达到最大；当沉积温度为750℃时，ZnO薄膜的晶粒尺度有所减小；在室温至750℃的范 围内，薄膜中ZnO晶粒与Si基体之间均存在着相对固定的外延关系；在沉积温度低于500℃时 ，制备的ZnO薄膜处于压应变状态，而750℃时沉积的薄膜表现为张应变状态.沉积温度的不 同导致ZnO薄膜的折射率、消光系数、光学禁带宽度以及光致荧光特性的变化，沉积温度对 紫外光致荧光特性起着决定性的作用.此外，探讨了影响薄膜近紫外光致荧光发射的可能因 素.
%K ZnO film
%K morphology
%K microstructure
%K optical constant<br>ZnO薄膜
%K 表面形貌
%K 微观结构
%K 光学常数
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=AAB7FEE5111DE6D2&yid=37904DC365DD7266&vid=E514EE58E0E50ECF&iid=38B194292C032A66&sid=1194166861DF0923&eid=4108C40BBEB9A8DE&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=14&reference_num=29