%0 Journal Article
%T Sol-gel deposition of highly reflective multilayer coatings from PVP-ZrO2 hybrid systems
PVP掺杂-ZrO2溶胶-凝胶工艺制备多层激光高反射膜的研究
%A Liang Li-Ping
%A Zhang Lei
%A Xu Yao
%A Zhang Bin
%A Wu Dong
%A Sun Yu-Han
%A Jiang Xiao-Dong
%A Wei Xiao-Feng
%A Li Zhi-Hong
%A Wu Zhong-Hua
%A
梁丽萍
%A 张 磊
%A 徐 耀
%A 章 斌
%A 吴 东
%A 孙予罕
%A 蒋晓东
%A 魏晓峰
%A 李志宏
%A 吴忠华
%J 物理学报
%D 2006
%I
%X 以丙醇锆(ZrPr)为锆源,二乙醇胺(DEA)为络合剂,原位引入聚乙烯吡咯烷酮(PVP),在乙醇体系中成功地合成了PVP掺杂-ZrO2溶胶.采用旋涂法在K9玻璃基片上制备了PVP-ZrO2单层杂化薄膜.用不同掺杂量的PVP-ZrO2高折射率膜层与相同的SiO2低折射率膜层交替沉积四分之一波堆高反射膜.借助小角X射线散射研究胶体微结构,用红外光谱、原子力显微镜、紫外/可见/近红外透射光谱、椭圆偏振仪以及1064nm的强激光辐照实验对薄膜的结构、光学和抗激光损伤性能进行表征.研究发现,体系组成的适当配置可以在溶胶稳定的前提下实现ZrPr的充分水解,赋予薄膜良好的结构、光学和抗激光损伤性能.杂化体系中,DEA与ZPr之间强的配合作用大大降低了ZrO2颗粒表面羟基的活性,使得PVP大分子只是以微弱的氢键与颗粒的表面羟基作用而均匀分散于ZrO2颗粒的周围,对颗粒的形成和生长无显著影响.因而在实验研究范围内,随PVP含量的增大,PVP-ZrO2杂化膜层的折射率和激光损伤阈值均无显著变化.但是,薄膜中均匀分布的PVP柔性链可以有效促进膜层应力松弛,显著削弱不同膜层之间的应力不匹配程度、大大方便多层光学薄膜的制备.当高折射率膜层中PVP的质量分数达到15%—20%时,膜层之间良好的应力匹配使得多层高反射膜的沉积周期数可达到10以上.沉积10个周期的多层反射膜,在中心波长1064nm处透射率约为1.6%—2.1%,接近全反射特征,其激光损伤阈值为16.4—18.2J/cm2(脉冲宽度为1ns).
%K sol-gel
%K PVP-ZrO2
%K highly reflective coating
%K laser-induced damage
溶胶-凝胶,
%K PVP-ZrO2,
%K 高反射膜,
%K 激光损伤
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=53CFC6B131B2A058&yid=37904DC365DD7266&vid=E514EE58E0E50ECF&iid=708DD6B15D2464E8&sid=3FCD8AA8965986AD&eid=7F7E24651F4BB2EC&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=41