%0 Journal Article
%T Structural and optical properties of MgxZn1-xO thin films deposited by radio frequency magnetron sputtering<br>射频磁控溅射法生长MgxZn1-xO薄膜的结构和光学特性
%A Zhang Xi-Jian
%A Ma Hong-Lei
%A Wang Qing-Pu
%A Ma Jin
%A Zong Fu-Jian
%A Xiao Hong-Di
%A Ji Feng
%A <br>张锡健
%A 马洪磊
%A 王卿璞
%A 马 瑾
%A 宗福建
%A 肖洪地
%A 计 峰
%J 物理学报
%D 2005
%I 
%X 用射频磁控溅射法在80℃的衬底温度下制备出MgxZn1-xO(0≤x ≤030)薄膜.x射线 衍射(XRD)结果表明，MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构， 没有形成任何显著 的MgO分离相，MgxZn1-xO薄膜的择优取向平行于与衬底垂直的 c轴；c轴晶格常数随着Mg含量的增加逐渐减小.在MgxZn1-xO薄膜的光透射谱中出现 锐利的吸收边，由透 射谱估算出MgxZn1-xO薄膜的带隙宽度由332eV(x=0)线性地 增加到396eV(x=030).
%K MgxZn1-xO thin films
%K radio frequency magnetron sputt ering
%K Mg contents<br>MgxZn1-xO薄膜，
%K 射频磁控溅射，
%K Mg含量
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=E37A277B8842C103&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=318E4CC20AED4940&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=E91B846994CBE876&eid=90183AEB5568F46D&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=14