%0 Journal Article
%T Analytical solution for temperature oscillation in the heater/thermometer film in 3ω method and its application to thermal conductivity measurement of micro/nanometer-films<br>3ω法加热/测温膜中温度波解析及其在微/纳米薄膜导热系数测量中的应用
%A Wang Zhao-Liang
%A Tang Da-Wei
%A Jia Tao
%A Mao An-Min
%A <br>王照亮
%A 唐大伟
%A 贾涛
%A 毛安民
%J 物理学报
%D 2007
%I 
%X 给出了3ω法测试系统中描述薄膜表面加热/测温膜中温度波动的级数形式解，并将复数温度波动的实部和虚部分开表示.利用该解分析了交流加热频率、加热膜宽度和材料热物性的组合参数对加热膜温度波动幅度的影响.并根据此解对测量原理的数学模型进行了修正，建立了相应的3ω测试系统，首先测定了厚度为500 nm SiO2薄膜的导热系数，验证了实验系统的合理性.加大了测试频率，利用级数模型在高频段直接得到SiO2薄膜的导热系数，结合低频段的数据同时确定了Si基体的导热系数.利用级数解分析测试了激光晶体Nd:YAG〈111〉面上多层ZrO2/SiO2增透膜的导热系数，测试的ZrO2薄膜的导热系数比体材料小.进行了不确定度分析.结果表明，提出的分析方法可以有效研究微器件表面薄膜结构的导热性能.
%K 3ω法
%K 微/纳米薄膜
%K 导热系数
%K 微尺度加热膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=B45DF277116D2168&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=014B591DF029732F&iid=0B39A22176CE99FB&sid=F4DCFB3CB96519BF&eid=9409F3EB075DCD5B&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=8