%0 Journal Article
%T Emission of the backscattered electrons from ultra-thin film on substrate under the action of low-energy beams<br>低能束作用下衬底上超薄膜背散射电子发射
%A Tan Zhen-Yu
%A Xia Yue-Yuan
%A <br>谭震宇
%A 夏曰源
%J 物理学报
%D 2002
%I 
%X 应用MonteCarlo方法模拟千电子伏低能束作用下,不同衬底上不同薄膜背散射电子发射.应用Mott散射截面和Joy方法修正的Bethe方程描述和计算低能电子在固体中弹性和非弹性散射,引入边界方程,修正穿越薄膜与衬底界面的电子散射路径.计算分析了薄膜背散射系数η随薄膜厚度D的变化和规律,以及不同情况下ηD线性区范围的分布及其定量结果Dmax.计算了背散射电子角分布和空间密度分布.
%K backscattered electron
%K Monte Carlo method
%K ultra
%K thin film<br>背散射电子
%K MonteCarlo方法
%K 超薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=38EA2D7F7BD7C332&yid=C3ACC247184A22C1&vid=987EDA49D8A7A635&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=33A7C6BD53CDAB47&eid=3DB657DD5E356007&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=15