%0 Journal Article
%T Preparation and properties of conducting transparent SnO2:Sb films deposited on flexible substrates<br>有机衬底SnO2:Sb透明导电膜的制备与特性研究
%A Hao Xiao-Tao
%A Ma Jin
%A Xu Xian-Gang
%A Yang Ying-Ge
%A Zhang De-Heng
%A Yang Tian-Lin
%A Ma Hong-Lei
%A <br>郝晓涛
%A 马瑾
%A 徐现刚
%A 杨莺歌
%A 张德恒
%A 杨田林
%A 马洪磊
%J 物理学报
%D 2002
%I 
%X 常温下,采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构.性能良好的薄膜电阻率为6.5×10-3Ω·cm,载流子浓度为1.2×1020cm-3,霍耳迁移率是9.7cm2·V-1·s-1.薄膜在可见光区的平均透过率达到了85%.
%K flexible substrates
%K antimony-doped tin oxide films
%K r
%K f
%K magnetron sputtering<br>柔性衬底
%K SnO2:Sb透明导电膜
%K 射频磁控溅射法
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=5F457B3F17890A12&yid=C3ACC247184A22C1&vid=987EDA49D8A7A635&iid=0B39A22176CE99FB&sid=381FB4265090A8E0&eid=0954045FA0C6885F&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=3&reference_num=22