%0 Journal Article
%T Influences of processing parameters on the properties of ZnO thin films prepared by sol-gel spin-coating<br>热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响
%A Song Yong-Liang
%A Ji Zhen-Guo
%A Liu Kun
%A Wang Chao
%A Xiang Yin
%A Ye Zhi-Zhen
%A <br>宋永梁
%A 季振国
%A 刘　坤
%A 王　超
%A 向　因
%A 叶志镇
%J 物理学报
%D 2004
%I 
%X 采用溶胶-凝胶旋涂法在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜，并用荧光光谱、原子力显微镜和XRD对ZnO薄膜样品进行了分析.结果表明，溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜为纤锌矿结构，其c轴取向程度与热处理温度有很大的关系.当热处理温度小于550℃时，氧化锌薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰，而可见波段的发射很弱；当热处理温度高于550℃时，可见波段发射明显增强.对经过不同时间热处理的ZnO薄膜样品分析表明，氧化锌薄膜的荧光特性及表面形貌与热处理时间也有很大关系，时间过短可见波段的发射较强，但时间过长会导致晶
%K ZnO thin film
%K photoluminescence<br>ZnO薄膜，
%K 光致发光
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=0BDB26E909538349&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=8E6AB9C3EBAAE921&iid=0B39A22176CE99FB&sid=9BF3B0483F192149&eid=46C2A519EDDA03DD&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=7&reference_num=17