%0 Journal Article
%T Highly transparent nanocrystalline diamond films on quartz substrates<br>石英衬底上生长的高光学质量的纳米金刚石薄膜
%A Qiu Dong-Jiang
%A Shi Cheng-Ru
%A Wu Hui-Zhen
%A <br>邱东江
%A 石成儒
%A 吴惠桢
%J 物理学报
%D 2002
%I 
%X 采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积 (RF HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜 .用扫描电子显微镜 (SEM)和台阶仪观测薄膜的表面形貌和粗糙度 ,x射线衍射 (XRD)和Raman光谱表征膜层的结构 ,并用紫外 可见 近红外光谱仪测量其光透过率 .实验结果表明 ,衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性、表面粗糙度及光透过率均有很大程度的影响 ,其最佳值分别为 70 0℃ ,2× 133Pa和 2 0 0W .在该最佳参量下经 1h的生长即获得连续、平滑的纳米金刚石膜 ,其平均晶粒尺寸为约 2 5nm ,表面平均粗糙度仅为 5 5nm ,在近红外区的光透过率高达 90 %
%K nanocrystalline diamond film
%K RF
%K HFCVD
%K optical transmission<br>石英衬底
%K 高光学质量
%K 纳米金刚石薄膜
%K 射频等离子体增强热丝化学气相沉积
%K 光透过率
%K 外延生长
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=EC2087971358AC4C&yid=C3ACC247184A22C1&vid=987EDA49D8A7A635&iid=5D311CA918CA9A03&sid=6405D27FCB03BF0F&eid=11C933E0BC2B8917&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=4&reference_num=11