%0 Journal Article
%T THE EFFECTS OF PRE-IRRADIATION ON THE FORMATION OF Si1-xCx ALLOYS<br>预注入对Si1-xCx合金形成的影响
%A WANG YIN-SHU
%A LI JIN-MIN
%A WANG YAN-BIN
%A WANG YU-TIAN
%A SUN GUO-SHENG
%A LIN LAN-YING
%A <br>王引书
%A 李晋闽
%A 王衍斌
%A 王玉田
%A 孙国胜
%A 林兰英
%J 物理学报
%D 2001
%I 
%X 室温下在单晶Si中注入(0.6—1.5)at%的C原子,部分样品在C离子注入之前在其中注入29Si+离子产生损伤,然后在相同条件下利用高温退火固相外延了Si1-xCx合金,研究了预注入对Si1-xCx合金形成的影响.如果注入C离子的剂量小于引起Si非晶化的剂量,在950℃退火过程中注入产生的损伤缺陷容易与C原子结合形成缺陷团簇,难于形成Si1-xC
%K ion implantation
%K solid phase epitaxy
%K Si1-xCx alloy<br>离子注入
%K 固相外延
%K Si1-xCx合金
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=294D2FECB5C9261C&yid=14E7EF987E4155E6&vid=771152D1ADC1C0EB&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=1EB017852C08068A&eid=FC9A32AA461904A5&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=9