%0 Journal Article
%T Fcharacterization of Phase Transformations in PZT Thin Films Prepared by a Modified Sol-Gel Technique<br>用改进的sol-gel法制备锆钛酸铅薄膜及其物相转化的研究
%A Meng Xiang-jian
%A Cheng Jian-gong
%A Li Biao
%A Tang Jun
%A Ye Hong-juan
%A Guo Shao-lin
%A Chu Jun-hao
%A <br>孟祥建
%A 程建功
%A 李标
%A 唐军
%A 叶红娟
%A 郭少令
%A 褚君浩
%J 物理学报
%D 2000
%I 
%X 利用改进的solgel法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PbZr0.5Ti0.5O3(PZT50/50)薄膜.采用了一种新的方式,从同一前驱体溶液得到了厚度各异的单一退火层.研究了薄膜的结构和性质随单层退火厚度的改变而发生的变化,发现随着单一退火层厚度的降低,薄膜(111)取向的程度增大,同时薄膜的剩余极化和介电常量也逐渐增高.当单一退火层厚度降低到约为40nm时,可得到高度(111)择优取向的PZT薄膜.从薄膜成核机理的基础上讨论了薄膜结构变化的内在因素,认为随单一退火层厚度的增加薄膜由单一的
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=25A3850BABCD71D7535865B279E998CC&yid=9806D0D4EAA9BED3&vid=2A3781E88AB1776F&iid=E158A972A605785F&sid=A9C78B2A6AAEEAAD&eid=725C082EB6FD280F&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0