%0 Journal Article
%T A molecular dynamics study of energetic particle bombardment on diamond<br>能量粒子轰击金刚石的计算机模拟
%A Li Rong-Bin
%A Dai Yong-Bing
%A Hu Xiao-Jun
%A Shen He-Sheng
%A He Xian-Chang
%A <br>李荣斌
%A 戴永兵
%A 胡晓君
%A 沈荷生
%A 何贤昶
%J 物理学报
%D 2003
%I 
%X 利用Tersoff势和分子动力学方法研究了初始动能为500 eV的硼粒子注入金刚石的微观行为.结果表明：硼注入后产生温度为5000 K的热峰，其寿命为0.18 ps；同时产生半径为0.45 nm局部非晶化区域，三重配位原子数占该区域原子数的7%.薄膜表层原子向内弛豫，近表层原子向外弛豫，表面层与近表层原子的间距减少了15%，表面层表现为压应力.硼原子以B<110>分裂间隙的形式存在于金刚石结构中.
%K molecular dynamics simulations
%K diamond
%K boron
%K implant<br>分子动力学模拟
%K 金刚石，
%K 硼
%K 注入
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=23B55BE16B02375A&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=286FB2D22CF8D013&iid=59906B3B2830C2C5&sid=13CC5BF6B957BD2F&eid=7B9C09EE391A7996&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=27