%0 Journal Article
%T The reflectivity measurement of the 28.5nm multilayer mirror<br>中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量
%A Huang Wen Zhong
%A Li Yin Jun
%A Gu Yu Qiu
%A Zhang Jie
%A You Yong Lu
%A CunYu Shutai
%A He Ying Ling
%A Lei An Le
%A Chen Cheng Lin
%A Ma Yue Yin
%A Jin Chun Sui
%A <br>黄文忠
%A 李英骏
%A 谷渝秋
%A 张 杰
%A 尤永禄
%A 淳于书泰
%A 何颍玲
%A 雷安乐
%A 陈正林
%A 马月英
%A 金春水
%J 物理学报
%D 2003
%I 
%X 在“星光-Ⅱ”装置上以类Ne铬x射线激光作为标定源，以平场光栅谱仪为分光元件进行了28．5nm的Mo／Si多层膜反射镜效率测量．介绍了实验方法，给出了实验结果，本次研制的两块多层膜镜反射率分别为3．1％和9．6％．
%K x
%K ray multilayer mirror
%K Reflectivity measure
%K x
%K ray laser<br>X射线多层膜反射镜
%K 反射率测量
%K X射线激光
%K 实验研究
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=BAC04927E2CD899E&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=286FB2D22CF8D013&iid=E158A972A605785F&sid=AF407E3178C0B145&eid=525CF7714FCB18E2&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=5