%0 Journal Article
%T Temperature influence on optical and electric properties of nano ZnO film
温度对纳米ZnO膜电学光学性质影响的研究
%A 曹琦
%A 李相银
%J 物理学报
%D 2004
%I
%X 用水解加热法制得的纳米ZnO粉末,并将ZnO粉末用电泳法淀积在二氧化硅玻璃衬底上,综合地研究了当衬底温度发生变化时ZnO薄膜的电学光学特性的变化规律.x射线图片显示ZnO薄膜在自然状态下是纤锌矿结构,薄膜在衬底温度663K时有最小的电阻率6.9x10^-2Ωcm和83%的高透过率.
%K resistivity
%K transparency
%K ZnO
%K substrate temperature
电阻率
%K 透过率
%K 氧化锌薄膜
%K 衬底温度
%K 水解加热法
%K 纤锌矿结构
%K 半导体材料
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=B837C8488FB9F2A2&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=8E6AB9C3EBAAE921&iid=94C357A881DFC066&sid=FAE014814EB8ABBA&eid=24F102A8BA6EDE6E&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=20