%0 Journal Article
%T Structural analysis of fluorinated diamond-like carbon films by Raman and Fourier transform infrared absorption spectroscopy<br>氟化类金刚石薄膜的拉曼和红外光谱结构研究
%A Jiang Mei-Fu
%A Ning Zhao-Yuan
%A <br>江美福
%A 宁兆元
%J 物理学报
%D 2004
%I 
%X 以高纯石墨作靶、CHF3 Ar作源气体采用反应磁控溅射法制备了介电常数在 1 77左右的氟化类金刚石 (F DLC)薄膜 .拉曼光谱表明 ,源气体中CHF3相对流量、射频功率和工作气压的增加都会引起薄膜的D峰与G峰强度之比ID IG 减小 ,薄膜中链式 (烯烃 )结构比例的上升 .红外吸收光谱分析表明薄膜的主体骨架仍为芳香环式结构 .薄膜的性质如光学带隙和介电常数等不仅与氟含量有关 ,还与碳氟原子间的耦合形式和碳氟键的分布密切相关 .
%K reactive magnetron sputtering
%K F-DLC films
%K Raman spectra
%K Fourier transforms infrared absorption spectra<br>反应磁控溅射
%K 氟化类金刚石薄膜
%K 拉曼光谱
%K 红外吸收光谱
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=7B99E99908524298&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=8E6AB9C3EBAAE921&iid=94C357A881DFC066&sid=7999B0CFB1D30C72&eid=087664F66E31A190&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=4&reference_num=14