%0 Journal Article
%T Al-50wt% Sn合金的离子溅射研究
%A 王震遐
%A 章骥平
%A 潘冀生
%A 陶振兰
%A 张慧明
%A 赵烈
%A 曾跃武
%A 王承宝
%A 林祯昌
%J 物理学报
%D 1992
%I 
%X 用捕获膜技术和卢瑟福背散射(RBS)分析,测定Al-Sn多相合金在30keV Ar+离子轰击时Al和Sn的溅射原子角分布。溅射后的样品用扫描电子显微镜(SEM)进行观察,并用电子微探针分析仪(EPMA)对轰击样品(靶点)和未轰击样品作成分分析。结果表明,Al的溅射原子角分布近于cosine形状,而Sn却是over-cosine型角分布。本文给出一个按不同表面形貌特征划分的各元素富集区i进行叠加的产额表达式,Y(θ)=∑Yi(θ),解释了实验结果。
%K 溅射
%K 合金
%K 角分布
%K 铝合金
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=1150A4EB01A57B3772C2A23A1F32D4D4&yid=F53A2717BDB04D52&vid=2001E0D53B7B80EC&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=EE882EEBF9236453&eid=9B1BEE8CA21457F1&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=4