%0 Journal Article
%T PLASMA DIAGNOSIS OF RF DISCHARGE BY USING IMPEDANCE MEASUREMENT<br>射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究
%A HUANG JIAN-JUN
%A YU JIAN-HUA
%A D TEUNER
%A <br>黄建军
%A 余建华
%J 物理学报
%D 2001
%I 
%X 利用自行研制的传感器和测量装置,通过对射频放电电压、电流以及其相位角的精确测定,算出放电管的总阻抗,结合放电管的等效电路模型与Godyak等建立的射频放电模型,对射频激励铜离子激光管在氦气中的放电特性进行了研究,得出射频激励铜离子激光器不同气压及电流密度下的等离子体电阻、容抗、鞘层厚度及电子密度
%K RF discharge
%K impedance measurement
%K plasma diagnosis<br>射频放电
%K 阻抗测量
%K 等离子体诊断
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=2D37CA8A2E59EB82&yid=14E7EF987E4155E6&vid=771152D1ADC1C0EB&iid=59906B3B2830C2C5&sid=6D0A7E2533903631&eid=FC0D02EAC2F45905&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=4&reference_num=23