%0 Journal Article
%T Study on optical properties of diamond films by means of infrared spectroscopic ellipsometry<br>金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱研究
%A Shen Hu-Jiang
%A Wang Lin-Jun
%A Fang Zhi-Jun
%A Zhang Ming-Long
%A Yang Ying
%A Wang Lin
%A Xia Yi-Ben
%A <br>沈沪江
%A 王林军
%A 方志军
%A 张明龙
%A 杨 莹
%A 汪 琳
%A 夏义本
%J 物理学报
%D 2004
%I 
%X 采用红外椭圆偏振光谱对微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）和热丝化学气相沉积法（H-FCVD）制备的金刚石薄膜在红外波长范围（2.5—12.5μm）的光学参数进行了测量.建立了不同的光学模型，且在模型中采用Bruggeman有效介质近似方法综合考虑了薄膜表面和界面的椭偏效应.结果表明，MPCVD金刚石膜的椭偏数据在模型引入了厚度为77.5nm的硅表面氧化层、HFCVD金刚石膜引入879nm粗糙层之后能得到很好的拟合.最后对两种模型下金刚石薄膜的折射率和消光系数进行了计算，表明MPCVD金刚石薄膜的红外
%K diamond films
%K infrared spectroscopic ellipsometry
%K optical properties
%K effective medium approximation<br>金刚石薄膜
%K 红外椭圆偏振光谱
%K 光学参数
%K 有效介质近似
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=653C807479B5DB1A&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=8E6AB9C3EBAAE921&iid=B31275AF3241DB2D&sid=DE12191FBD62783C&eid=FF7AA908D58E97FA&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=3&reference_num=12