%0 Journal Article %T 等离子体源离子注入球形靶的蒙特-卡罗模拟 %A 王德真 %A 马腾才 %A 宫野 %J 物理学报 %D 1995 %I %X 建立了在球形靶鞘层中离子的蒙特-卡罗模拟模型,考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射,以及精确依赖于入射离子能量的电荷交换碰撞截面和动量输运截面。模拟了不同气压下,在鞘层扩展过程中,氮离子N_2~+到达靶表面的能量分布和入射角分布,研究了它们的变化规律。 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=D1DC94213795297E6B14D85813AF6C4A&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=1AE5323881A5ECDC&iid=B31275AF3241DB2D&sid=A766A50385B9FB1F&eid=BEBF2238C7F1C1F1&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0