%0 Journal Article
%T a-C∶H(N)薄膜结构的X射线光电子能谱分析
%A 程宇航
%A 吴一平
%A 陈建国
%A 乔学亮
%A 谢长生
%A 杨业智
%A 莫少波
%J 物理学报
%D 1998
%I 
%X 采用直流-射频等离子增强化学汽相沉积技术制备a-C∶H(N)薄膜，用X射线光电子能谱研究了混合气体中N2含量对薄膜成分与结构的影响.a-C∶H(N)薄膜中含氮量可达9.09%.对a-C∶H(N)薄膜的C1s和N1s结合能谱的分析表明a-C∶H(N)薄膜的结构是由C3N4相镶嵌在sp2键结合的CNx基体中组成.其中C3N4相中N和C原子比接近4∶3，不随薄
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=EB170FC26D6336E9B7311831FB8A5E07&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=F4B561950EE1D31A&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=06EA2770E96C5402&eid=7E8E8B150580E4AB&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0