%0 Journal Article
%T OPTIMIZATION OF Tc IN EPITAXIAL GdBaCuO SUPERCONDUCTING THIN FILM BY INVERTED CYLINDRICAL SPUTTERING<br>GdBaCuO超导薄膜Tc值的优化实验研究
%A LI YAN-RONG
%A LIU XIN-ZHAO
%A XU JIN
%A JGEERK
%A RSMITHY
%A <br>李言荣
%A 刘兴钊
%A 徐进
%A J.GEERK
%A R.SMITHY
%J 物理学报
%D 1997
%I 
%X 用倒筒式直流磁控溅射装置在LaAlO3单晶基片上原位沉积了GdBaCuO（GBCO）薄膜．系统调查了GBCO薄膜的超导性质与溅射温度Ts、溅射压力和靶组成的变化规律，发现在720—820℃较宽的基片温度范围、在较低的溅射气压（40Pa）、较高的溅射速率（0.03nm/s）下均可制备出Tc0＞92K，（005）峰摇摆曲线半高宽不大于0.2、膜面非常光滑且具有良好外延特性的c轴嵌镶单晶薄膜．在最佳条件下（Ts=820℃，气
%K 优化实验
%K GBCO
%K 超导体
%K 薄膜
%K 临界温度
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=59DCF672634DFB41004F29DE676F9FA9&yid=5370399DC954B911&vid=D997634CFE9B6321&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=BA1E75DF0B7E0EB2&eid=DE9F9A03FB2549EC&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=2