%0 Journal Article
%T THE ON LINE SPECTRUM MEASUREMENT IN THE PREPARATION OF THIN FILM<br>溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究
%A LIU LONG-JIAN
%A SHEN JIE
%A ZHANG ZHUANG-JIAN
%A <br>刘隆鉴
%A 沈杰
%A 章壮健
%J 物理学报
%D 2000
%I 
%X 在制备薄膜的过程中,利用光谱分析的方法,以放电光谱特征谱线强度的变化来反映相应物质成分的变化,以连续光谱光源发出的光透射过薄膜的透射率的变化,来反映薄膜的厚度、折射率、吸收系数等光学参数的变化,从而达到在制膜过程中,对薄膜的成分、厚度等参数进行在线监控的目的.
%K 在线测量
%K 溅射
%K 成分
%K 薄膜
%K 厚度
%K 光谱
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=40C3A52CAA68E2C21718CD1F84D5D1E2&yid=9806D0D4EAA9BED3&vid=2A3781E88AB1776F&iid=0B39A22176CE99FB&sid=31BCE06A2FD82A16&eid=A2745AA1110798CA&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=1&reference_num=3