%0 Journal Article
%T 28Sin-(n=1,2)离子对Ag表面的溅射研究
%A 王震遐
%A 潘冀生
%A 章骥平
%A 陶振兰
%A 杜光天
%A 王传珊
%A 李欣年
%A 谢诒芬
%J 物理学报
%D 1995
%I 
%X 用原子捕获膜技术结合卢瑟福背散射谱,测定了具有相同原子能量(16keV/原子)的~(25)Si_m~-(n=1,2)离子冲击Ag靶的溅射原子角分布。结果表明,~(26)Si_1~-冲击引起的Ag原子角分布较~(25)Si_2~-冲击在小发射角θ(Ag原子发射方向与靶表面法线方向之间的夹角)区有更大的增强。结合扫描电子显微镜对靶点表面的分析,我们认为这种角分布变化,可能暗示必须考虑靶点表面形貌特征差别的影响。
%K 离子
%K 溅射
%K 银
%K 硅28
%K 靶点
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=FCAE0A99323261C3B75EEFE92F0BBC8E&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=1AE5323881A5ECDC&iid=94C357A881DFC066&sid=99A964928ADB4E67&eid=C230D48775108CE3&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=4