%0 Journal Article
%T 等离子体化学气相沉积的实验与理论研究
%A 魏合林
%A 刘祖黎
%J 物理学报
%D 1995
%I 
%X 对等离子体化学气相沉积(PCVD)过程进行了实验和理论研究,实验结果表明:实验条件和等离子体参数在PCVD过程中相互关联,等离子体参数直接影响PCVD过程,在此实验结果的基础上建立了一个二元动力学模型,假设PCVD过程是由等离子体参数决定,考虑了活性粒子与反应单体的扩散与对流.计算中使用了实际测量的电子参数.理论与实验结果基本符合.
%K 等离子体
%K 化学气相沉积
%K 薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=FCAE0A99323261C3A4ABCD7FAE7E6DDD&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=1AE5323881A5ECDC&iid=5D311CA918CA9A03&sid=72EB001A9B3C78CE&eid=F5C4DB540B02644F&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=3