%0 Journal Article %T 研究半导体超晶格界面粗糙的X射线双晶Pendellosung方法 %A 庄岩 %A 王玉田 %A 潘士宏 %J 物理学报 %D 1995 %I %X 运用高精度X射线双晶衍射议对GeSi/Si应变超晶格进行了分析研究,实验上观测到在卫星峰之间存在着干涉条纹(Pendellosung),建立了界面的随机概率模型.结合计算机模拟发现:Pendellosung条纹对界面的粗糙十分敏感,当界面粗糙度较小时,只影响Penderllosung条纹的规则排列,而当粗糙度较大时,不仅使Pendellosung条纹强度下降,规则排列受到破坏,并且还将导致高级卫星峰强度下降,峰形严重宽化. %K 半导体 %K 超晶格 %K 界面 %K 粗糙度 %K X射线衍射 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=FCAE0A99323261C3FA693A9259C1F9FC&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=1AE5323881A5ECDC&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=F79A45851FD04E0C&eid=4AB97D697AC3192E&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=2&reference_num=2