%0 Journal Article
%T MEASUREMENT OF SHEET RESISTANCE FOR MICROA- REAS BY USING A MODIFIED VAN DER PAUW''S METHOD<br>用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻
%A SUN YI-CAI
%A ZHANG LIN-ZAI
%A <br>孙以材
%A 张林在
%J 物理学报
%D 1994
%I 
%X 借助于显微镜放大8×10倍,用目视法将四探针针尖分别控制在样品的面积为100μm×100μm的方形微区的内切圆外四个角区内,利用改进的Van der Pauw法能测定它的方块电阻。测量不受探针游移的影响,无需用测定探针的精确几何位置来进行边缘效应修正。本文利用有限元法对此结论给予证明,并通过金微触点的方块电阻测定得到证实。
%K 半导体器件
%K 方块电阻
%K 探针
%K 有限元
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=19056B90ACB8A2EE522008AF56742D66&yid=3EBE383EEA0A6494&vid=BE33CC7147FEFCA4&iid=E158A972A605785F&sid=BB98BB04E861B6F5&eid=92DA076AF6760FAC&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=10&reference_num=0