%0 Journal Article
%T 椭偏光谱对复数折射率薄膜的研究——ITO膜光学常数的色散和生长规律
%A 冯洪安
%A 余玉贞
%A 黄炳忠
%J 物理学报
%D 1986
%I 
%X 本文提出一个利用椭偏光谱测量复数折射率薄膜的方法。由于引入一个新的目标函数,把搜索的参量空间的维数减至四维,因此不但可以测得薄膜的光学常数和厚度,并且可同时确定衬底的光学常数。我们应用这个方法对射频溅射在硅衬底上生长的ITO膜光学常数的色散和生长规律进行了初步研究,发现硅衬底的表观光学常数也发生了变化
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=30E64EFB265E0BB747CA49C0699894F8&yid=4E65715CCF57055A&vid=6209D9E8050195F5&iid=38B194292C032A66&sid=160561E9A96393DE&eid=A5B34D9E8FDA439A&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0