%0 Journal Article
%T Al/BaTiO_3/Si结构的湿敏特性与机理研究
%A 李观启
%A 吴英才
%A 黄美浅
%A 曾绍鸿
%A 刘百勇
%J 物理学报
%D 1995
%I 
%X 利用氩离子束镀膜技术,在N型(100)硅单晶片上淀积钛酸钡膜,并制成MIS结构.在室温下测试其电容-相对湿度(C-RH)特性和电流-相对湿度(I-RH)特性.研究退火条件与固定电荷密度和吸湿灵敏度的关系.结果表明:当相对湿度从12%变化到92%时,在1MHz的测试频率下,电容值变化了48%.在3V偏压下,电流变化了430%,且高湿时的灵敏度比低温时高.随着膜中氧组分的增大,固定电荷密度减小,吸湿响应时间增长,电流变化率下降.文中利用等效方法确定膜中的孔隙体积比和BaTiO,成分的介电常数,建立了描述C-R
%K 钛酸钡
%K MIS
%K 湿敏特性
%K 湿度传感器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=FCAE0A99323261C3FAA6FB6B6D056582&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=1AE5323881A5ECDC&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=99C22CF1E519BF36&eid=D9BD5E184C6E559D&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=3&reference_num=3