%0 Journal Article
%T EFFECT OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON ZnSe FILMS GROWN BY HOT WALL EPITAXY<br>衬底温度对热壁外延ZnSe薄膜质量的影响
%A 吕宏强
%A 王杰
%A 沈军
%A 刘咏
%A 王迅
%A 王昌平
%A 王建宝
%A 李晨
%A 沈孝良
%J 物理学报
%D 1992
%I 
%X 用热壁外延法在不同衬底温度条件下生长一系列ZnSe薄膜,并通过X射线衍射、喇曼散射以及光致发光技术对ZnSe薄膜质量作了研究。实验结果表明,随着衬底温度下降,ZnSe薄膜质量逐渐变差;当衬底温度低于300℃时,(100)ZnSe薄膜中有(111)孪晶出现;但同时发现衬底温度大于375℃时,衬底Ga原子对ZnSe外延层扩散严重。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=C7EBA34E81DE0EF498516941AD5F05B6&yid=F53A2717BDB04D52&vid=2001E0D53B7B80EC&iid=5D311CA918CA9A03&sid=9A66D940867B74F7&eid=E97B7F8EBE42C30F&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0