%0 Journal Article %T 沉积在α-Al2O3分形基底上Ag薄膜的特性 %A 许宇庆 %A 叶高翔 %A 王劲松 %A 陶向明 %A 张其瑞 %J 物理学报 %D 1994 %I %X 报道了采用磁控溅射法在α-Al2O3分形基底上沉积Ag薄膜表面的形貌、结晶状态以及其V-I特性.结果表明:分形的Al2O3基底导致Ag薄膜具有起伏不平的结构、较差的结晶状态并且存在大量的孔洞,它们同样受基底温度和薄膜厚度的影响.在一定的厚度范围内,Ag薄膜呈现反常的非线性I(V)特性,其行为也受薄膜厚度、基底温度和测试环境的强烈影响. %K 银 %K 薄膜 %K 分形薄膜 %K 磁控溅射 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=2BC04F7FEA408E8080015B127B5DFA5E&yid=3EBE383EEA0A6494&vid=BE33CC7147FEFCA4&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=EEBB803F60D7DC4B&eid=D291DCA663E1D24D&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=2