%0 Journal Article
%T 亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究
%A 袁利祥
%A 范正修
%A 殷功杰
%A 邵建达
%A 易葵
%A 崔明启
%A 刘丽冰
%A 缪建伟
%A 陈光辉
%A 沈孝良
%J 物理学报
%D 1995
%I 
%X 简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.
%K 软X射线
%K 多层膜光栅
%K 衍射效率
%K 亚微米周期
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=FCAE0A99323261C37BE0C639CA47C5D4&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=1AE5323881A5ECDC&iid=0B39A22176CE99FB&sid=798FBE8DE1A255B1&eid=847B14427F4BF76A&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=3&reference_num=2