%0 Journal Article %T EFFECT OF THE BOTTOM ELECTRODES ON THE STRUCTURE AND ELECTRIC PROPERTIES OF FERROELECTRIC THIN FILMS
铁电薄膜底电极对薄膜结构与电性能的影响 %A LU DE-XIN %A LI ZUO-YI %A LIU JIAN-SHE %A HUANG LONG-BO %A LIANG JUN-WEN %A
卢德新 %A 李佐宜 %A 刘建设 %A 黄龙波 %A 梁俊文 %J 物理学报 %D 1994 %I %X 研究了电极材料(Pt/Ti)对铁电PLZT(7.5/65/35)陶瓷薄膜结构和性能的影响.认为在Pt层厚度一定时,Ti层的厚度对铁电薄膜的结构和性能有显著影响.当Ti层过厚或过薄时,铁电薄膜的结构较差;而当Ti层的厚度适中时,则铁电薄膜的显向下微结构均匀,电性能较好,典型的剩余极化强度和矫顽场分别为27.8μC·cm-2和65.1kV·cm-1. %K 铁电薄膜 %K 陶瓷 %K 薄膜 %K 结构 %K 电性能 %K 电极材料 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=2C75B2B781478156C3844BC8DC815DCE&yid=3EBE383EEA0A6494&vid=BE33CC7147FEFCA4&iid=59906B3B2830C2C5&sid=274950DACC45EFF5&eid=4ED782DFCB910AF4&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=3&reference_num=4