%0 Journal Article %T 金属颗粒-半导体膜Cu:CdS的制备及结构研究 %A 赵子强 %A 韦伦存 %A 王浩 %A 张金宏 %A 钟运成 %A 卢希庭 %J 物理学报 %D 1997 %I %X 利用磁控溅射产生金属Cu团簇,同时蒸发半导体介质CdS,将Cu团簇包埋在CdS介质中,制备出金属颗粒半导体膜.团簇大小可通过改变溅射气压控制.用TEM研究了嵌埋团簇的结构.分析表明:CdS很好地包埋了Cu团簇,都呈多晶结构;团簇尺寸在5—20nm,Cu晶格发生了膨胀,膨胀量在7%左右 %K 金属颗粒 %K 半导体 %K 薄膜制备 %K 铜 %K 砷化镉 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=23BAA394FB154588283582F9FE18E47F&yid=5370399DC954B911&vid=D997634CFE9B6321&iid=94C357A881DFC066&sid=2D207DE75533FA7E&eid=8047434EAE0B2346&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=1&reference_num=2