%0 Journal Article
%T ELLIPSOMETRIC SPECTRA OF SiO2 FILMS ON SILICON<br>Si-SiO2膜的椭圆偏振光谱
%A MO DANG
%A CHEN SHU-GUANG
%A YU YU-ZHEN
%A HUANG BING-ZHONG
%A <br>莫党
%A 陈树光
%A 余玉贞
%A 黄炳忠
%J 物理学报
%D 1980
%I 
%X 我们建立了椭圆偏振光谱仪装置,提出一种较简便的测定方法(测Imax,Imin,θmin,算(ψ,Δ)-λ),并对具有不同厚度氧化硅膜的硅样品进行了测量。还在理论上计算了光谱曲线,与实验结果基本相符。最后,对比了测定膜厚的偏振光谱法与消光法。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=553D90C566832EBE8ACFDE25B7EFD587&yid=E56875464B1C0EC1&vid=771469D9D58C34FF&iid=94C357A881DFC066&sid=B28C697BC3A1BA62&eid=5AE7FA263C8A6D65&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0