%0 Journal Article
%T 直拉硅单晶原生微缺陷的观察
%A 麦振洪
%A 崔树范
%A 傅全贵
%A 林汝淦
%A 张金福
%J 物理学报
%D 1983
%I 
%X 对沿<100>方向生长的p型和沿<111>方向生长的n型宏观无位错直拉硅单晶,用铜缀饰X射线形貌术和腐蚀法观察到两种不同类型的微缺陷,对n型硅单晶还观察到一种特殊组态的微缺陷。对观察到的微缺陷的分布、组态进行了初步的分析。本文首次采用X射线透射投影和截面形貌术对硅单晶原生微缺陷进行直接观察,获得了相应的微缺陷图。所观察到的微缺陷的组态、尺度、分布等与铜缀饰X射线透射形貌图所示结果一致。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=915AB6E8FD8D6B02D29C2E61BF30C7A9&yid=A7F20A391020FDEE&vid=9971A5E270697F23&iid=94C357A881DFC066&sid=AF14A8B15FB15A64&eid=2A22E972FD97071B&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0