%0 Journal Article
%T THEORY OF THIN PYROELECTRIC FILM DETECTORS<br>红外薄膜热电探测器分析
%A CHEN JI-SHU
%A <br>陈继述
%J 物理学报
%D 1974
%I 
%X 本文用一维扩散模型推出了热电探测器响应率的表达式,并计算了悬空的和有底板的TGS热电探测器的响应率和NEP的数值(作为器件厚度和工作频率的函数)。根据数值计算的结果,分析了薄膜热电探测器的发展前景。本文认为:(i)必须用薄膜底板。底板和热电晶体的厚度最好都在0.1微米以下。底板宜选用比热和密度尽量小的材料。这样的薄膜器件,其低频NEP可能比10微米厚的悬空器件降低一个数量级。(ii)如底板厚度超过热扩散长度,薄膜器件响应率便下降,同时温度噪声上升,NEP上升。这样的薄膜器件,其低频性能将显著地不如10微米厚的悬空器件。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=0786553EB195FFE8&yid=CF7717776B0449E1&vid=EA389574707BDED3&iid=B31275AF3241DB2D&sid=987EDA49D8A7A635&eid=9FFCC7AF50CAEBF7&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0