%0 Journal Article %T DETERMINATION OF THE DISPERSION AND THE MEASURE-MENT OF THE THICKNESS OF EPITAXIAL GARNET FILMS
石榴石外延膜色散关系的确定和膜厚的测量 %A Wang Li-xuan %A
王立萱 %J 物理学报 %D 1983 %I %X 本文提出了确定石榴石外延膜的色散关系和测量膜厚的一种方法。充分利用分光光度计获得的透射光谱,在波长大于2μm,因而膜和衬底的吸收及色散近于可忽略时,由透过率的极值计算得到相应波长下膜的折射率。按干涉条件计算并推定出所有干涉极值的干涉级数,进而算出各干涉极值波长下膜的折射率。最后用最小二乘法求得科希色散公式的系数,从而得到该膜的色散关系。利用此色散关系就可计算膜厚。 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=4689997436C8B9FD09DEB78D5A7180B8&yid=A7F20A391020FDEE&vid=9971A5E270697F23&iid=E158A972A605785F&sid=F3A3627BFEF439C1&eid=500A64A3035F6B9C&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=1&reference_num=0