%0 Journal Article
%T Development of a Microcantilever Temperature Sensor Based on Optical Readout<br>基于光学读出的微悬臂梁温度传感器研制
%A WU Lin
%A WU Ding-qiang
%A Zhang Qing-chuan
%A <br>邬林
%A 吴定强
%A 张青川
%J 实验力学
%D 2012
%I 
%X 为实现对环境温度的高分辨率、快速、准确测量，设计制作了一种基于光学读出的微悬臂梁温度传感器。由于组成微悬臂梁的两种材料--金和氮化硅热膨胀系数的差异，在温度变化时,梁内部会产生热应力导致其弯曲变形。不同温度下梁的弯曲变形量不同，利用光杠杆方法检测出此变形，经标定后就能实现环境温度的准确测量。实验中设定系统光臂长度为25mm，采用商业化三角形微悬臂梁(长200μm、宽40μm、氮化硅层厚0.6μm，金层厚60nm)对传感器进行了测试，实验结果显示其测量重复性好，温度分辨率达到0.02℃。对于特定尺寸的微悬臂梁，通过优化其双材料厚度比，温度分辨率可达10-4℃，可用于环境温度的精密测量。
%K microcantilever
%K temperature sensor
%K optical lever
%K high-resolution
%K thermal stress<br>微悬臂梁
%K 温度传感器
%K 光杠杆
%K 高分辨率
%K 热应力
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=49067A0A0D864088C06A84AACB51A5B2&aid=E4EB2AADE1AB1F60515A275AC1623EDB&yid=99E9153A83D4CB11&vid=DB817633AA4F79B9&iid=B31275AF3241DB2D&sid=A7379F6713A46835&eid=6C3EA4F7B6E5F836&journal_id=1001-4888&journal_name=实验力学&referenced_num=0&reference_num=0