%0 Journal Article
%T Design and Realization of New Optical Sequential Readout for Micro-cantilever Array<br>一种新型微梁阵列传感器设计及实现
%A XUE Chang-guo
%A ZHANG Guang-ping
%A ZHANG Qing-chuan
%A WU Xiao-ping
%A <br>薛长国
%A 张广平
%A 张青川
%A 伍小平
%J 实验力学
%D 2011
%I 
%X 微悬臂梁传感技术是微纳传感技术研究的热点,仪器装置的研究也从单悬臂梁向微梁阵列的方向发展。本文针对间距为250μm的商品化微梁阵列,提出了一种实现对其弯曲变形的读出系统光路。利用高精度位移平台调节激光器空间位置,使光束实现微距离上平行,并分别照射在阵列梁的相邻微梁上。用位置敏感探测器对两个微悬臂梁尖端反射的激光信号进行检测,实现系统传感功能。实验验证该光路设计简单易行,针对这一方案实现了两个微梁的信号分离。在微梁上修饰对应的抗体,系统就可以对其抗原行检测。该方案对微梁多阵列传感器研制开发提出了一个新的思路。
%K MEMS
%K micro-cantilever array
%K biosensor
%K design and realization<br>微机电系统
%K 微悬臂梁阵列
%K 生化传感器
%K 设计与实现
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=49067A0A0D864088C06A84AACB51A5B2&aid=29FA679B61699A5252D8EF7FAC5EF83A&yid=9377ED8094509821&vid=96C778EE049EE47D&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=659D3B06EBF534A7&eid=C5154311167311FE&journal_id=1001-4888&journal_name=实验力学&referenced_num=0&reference_num=14