%0 Journal Article
%T 低氟溶胶-凝胶法制备的YBa2Cu3O7-δ薄膜的生长取向和超导性能研究
%A 雷黎
%A 赵高扬
%A 徐慧
%A 赵娟娟
%J 半导体学报
%D 2010
%I 
%X 本文采用低氟溶胶-凝胶法在(001)取向LaAlO3(LAO)的单晶衬底上制备了YBa2Cu3O7-δ (YBCO)薄膜。利用X-射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对薄膜的微观结构进行了表征分析，并用标准四探针技术对薄膜进行了超导电性能测试。实验结果表明，在湿度足够大的热处理气氛中制备的YBCO薄膜较在湿度相对较小的处理气氛中制备的薄膜具有更好的c轴生长织构和超导性能。根据经典的形核理论、化学反应热力学原理并结合所得到的实验结果，我们解释了在一定湿度条件下YBCO薄膜的结晶和生长机制。研究表明残留在YBCO薄膜中的第二相会引起晶格畸变，进而诱发a轴取向YBCO晶粒的形成，且热处理气氛中水蒸汽的含量对制备具有c轴取向且超导性能较好的YBCO薄膜有十分重要的作用。
%K YBCO薄膜
%K 低氟工艺
%K 生长机制
%K 溶胶-凝胶
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=503936352BC4A15BE20522CCDB27B581&yid=140ECF96957D60B2&vid=4AD960B5AD2D111A&iid=5D311CA918CA9A03&sid=619A74DBE16AC34D&eid=DF92D298D3FF1E6E&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0