%0 Journal Article
%T Design and fabrication of a terminating type MEMS microwave power sensor<br>终端式MEMS微波功率传感器的设计与制作
%A Xu Yinglin
%A Liao Xiaoping
%A <br>许映林
%A 廖小平
%J 半导体学报
%D 2009
%I 
%X 提出了一种基于塞贝克效应的终端式MEMS微波功率传感器，该传感器的制作工艺与GaAs MMIC工艺兼容。引入了电热模型对传热及温度分布进行了模拟。传感器对从-20dBm到20dBm的微波功率进行了测量。测量结果显示，20GHz时该微波功率传感器的灵敏度为0.27mV/mW，在整个测量频率范围内回波损耗低于-26dBm。为了改善灵敏度，尝试设计了4种CPW结构，灵敏度提高了约2倍。
%K MEMS
%K MMIC
%K microwave power
%K return loss
%K sensitivity<br>MEMS
%K MMIC
%K 微波功率
%K 回波损耗
%K 灵敏度
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=FA18A41E21A084B8871E9AB2A680DDC4&yid=DE12191FBD62783C&vid=340AC2BF8E7AB4FD&iid=E158A972A605785F&sid=654B1EC9357570FA&eid=E158A972A605785F&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0